海德漢新一代電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)

HEIDENHAIN海德漢高精度和高產(chǎn)出：詳細了解在HEIDENHAIN 2024半導(dǎo)體活動上亮相的電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)的全新解決方案。

海德漢全面提高精度：多達六自由度的編碼器

我們以多自由度技術(shù)為基礎(chǔ)設(shè)計開發(fā)的編碼器可反饋一個以上自由度的位置。附加的反饋信號可顯著提高測量精度，檢測其它方向運動的位置誤差并進行補償，避免影響系統(tǒng)。采用此創(chuàng)新技術(shù)的編碼器包括PP 6000 Dplus二維編碼器、LIP 6000 Dplus直線編碼器和GAP 1000間隙測量編碼器。

PP 6000：兩個測量方向，達到更高精

阿貝（Abbé）誤差影響機床精度。阿貝（Abbé）誤差通常難以測量，而PP 6000 二維編碼器可測量此誤差。這款編碼器只需一個讀數(shù)頭同時測量兩個方向，測量面尺寸達464 mm x 464 mm，如果需要更大測量面尺寸，可根據(jù)需要提供。直接測量刀具中心點，最大限度減小阿貝（Abbé）誤差，提高設(shè)備精度。EnDat 3接口在一條電纜中傳輸兩路位置反饋信號，因此，可減少電纜數(shù)量和減輕設(shè)置工作。PP 6000 編碼器優(yōu)化運動系統(tǒng)的動態(tài)性能。

LIP 6000 Dplus : 1條柵尺，1個讀數(shù)頭，2個自由度

LIP 6000 Dplus在一個光柵基體上提供兩條獨立的光柵刻軌，交叉角為+45°和–45°。專用的掃描場讀數(shù)頭直接掃描每一條光柵，在測量范圍的全長上沿X軸主方向和Y軸輔助方向精確進行測量。接口為EnDat 3，因此可用一條電纜將兩組位置值發(fā)給控制系統(tǒng)。顯著簡化電纜連接，簡化編碼器安裝和提高運動系統(tǒng)動態(tài)性能。

輕松檢查設(shè)備精度：基于LIP 6000 Dplus的校準工具

我們提供以LIP 6000 Dplus為基礎(chǔ)的校準工具，可用其隨時檢測和調(diào)整設(shè)備。設(shè)備的校準并非日常任務(wù)，用戶可租用我們的校準工具，這是HEIDENHAIN的一項服務(wù)，用戶無需購買和持有自己的校準工具。我們提供認證的校準工具，在需要時可方便地用其檢查系統(tǒng)精度。

GAP 1081: 平面外間隙測量

海德漢全新的間隙測量編碼器GAP 1081。可測量特殊鏡面與讀數(shù)頭間的垂直間隙。因此，可用GAP 1081進行簡單的垂直位置測量。也可以安裝在平行于直線光柵尺的方向上，例如LIP 6000 Dplus，在直線軸方向上連續(xù)進行垂直測量。GAP 1081的鏡面長度可達3 m。如果在鏡面上使用兩個讀數(shù)頭，則可同時測量直線軸的俯仰和偏向。

海德漢MRP 8081 Dplus：充分發(fā)揮編碼器的精度優(yōu)勢

盡管編碼器提供認證的精度和精度檢定圖，但在應(yīng)用中也可能無法充分發(fā)揮精度優(yōu)勢。原因多種多樣，特別是編碼器被安裝在剛性不足的部件上時。MRP 8081 Dplus提供可轉(zhuǎn)移精度，確保在應(yīng)用中最大限度達到的精度。此技術(shù)使用了以下特性：

海德漢高剛性的軸承

四個讀數(shù)頭

為控制系統(tǒng)提供全套校準數(shù)據(jù)

MRP 8081 Dplus提供這些特性，在給定安裝條件、擺動負載或其它外部條件下，例如振動、突發(fā)的機械負載和溫度波動，系統(tǒng)精度可達±0.2角秒。提高精度和工作性能，在不犧牲精度的條件下達到更高電機轉(zhuǎn)速。

除高精度角度測量外，MRP 8081 Dplus的四個讀數(shù)頭還能測量軸的徑向?qū)蛘`差。未來，專用的電子電路可分析四路讀數(shù)頭信號，補償這些誤差。

重負載軸：不受齒槽扭矩或徑向力影響

海德漢MRP角度編碼器模塊與ETEL力矩電機珠聯(lián)璧合共同打造平滑性的運動控制系統(tǒng)。無論齒槽扭矩還是徑向力對軸承的導(dǎo)向精度都沒有影響。我們還提供SRP 5000角度編碼器模塊，這是一款緊湊、超薄和高剛性的角度編碼器。其部件的高剛性還能確保在變化的負載條件下達到一致的高精度。

HEIDENHAIN為高動態(tài)性能旋轉(zhuǎn)軸開發(fā)敞開式編碼器：ERO 2000，現(xiàn)在提供多自由度技術(shù)的ERP 1080 Dplus

電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)是高速發(fā)展的行業(yè)。HEIDENHAIN不斷開發(fā)敞開式編碼器，滿足高速發(fā)展要求。ERO 2000增量式角度編碼器就是這樣一款產(chǎn)品，這款編碼器專用于空間有限和高動態(tài)性能的應(yīng)用，例如掃描振鏡。而且，ERP 1000精度高和分辨率高。ERP 1080 Dplus是此產(chǎn)品線中的一款產(chǎn)品，含四個讀數(shù)頭，其工作可靠性和安裝優(yōu)點與MRP 8081 Dplus角度編碼器模塊相同。

總線式工作的EnDat 3接口：高速，易用，經(jīng)濟

要實現(xiàn)系統(tǒng)的緊密集成，同時面向未來的數(shù)字化時代，包括總線式工作要求，EnDat 3是編碼器接口的理想選擇。EnDat 3可為自動化系統(tǒng)減少連接電纜數(shù)量，可提供豐富的診斷功能，可實現(xiàn)更高安全性和可靠性。該接口提供通用型通信技術(shù)，可傳輸豐富的數(shù)據(jù)，不僅包括位置反饋數(shù)據(jù)，還包括傳感器數(shù)據(jù)、系統(tǒng)監(jiān)測數(shù)據(jù)和自動配置數(shù)據(jù)。

高動態(tài)性能直驅(qū)電機的理想選擇：RSF靈活的模塊型光柵尺和編碼器

RSF的直線光柵尺和角度編碼器采用模塊化設(shè)計，應(yīng)用靈活，可輕松集成在應(yīng)用系統(tǒng)中。這些光柵尺和角度編碼器支持大量不同接口，可輕松連接常用的控制系統(tǒng)和支持不同的物理設(shè)計。其它獲益還包括寬松的安裝公差和易于安裝。RSF的全新MCR 16角度編碼器可達更高信號質(zhì)量。 

LIC 3000：高動態(tài)性能直線軸的海德漢敞開式直線光柵尺

LIC 3000系列光柵尺是繼LIC 4000系列和LIC 2000系列敞開式絕對直線光柵尺之后的又一個產(chǎn)品線。LIC 3000測量步距僅10 nm，運動速度可達600 m/min。LIC 3000直線光柵尺可進行直線軸高動態(tài)性能和高精度位置測量，測量長度可達10 m。

LIC 3000的大型掃描場可有效提高抗污性能。測量基準的局部污染對信號質(zhì)量和測量穩(wěn)定性的影響十分有限。由于LIC 3000系列敞開式直線光柵尺動態(tài)性能高，測量長度大和堅固耐用，因此，這款光柵尺應(yīng)用靈活，在更多的應(yīng)用中都能充分發(fā)揮LIC光柵尺的優(yōu)勢。

超薄直線光柵尺：NUMERIK JENA的LIKgo和LIKselect

NUMERIK JENA LIKgo和LIKselect敞開式直線光柵尺是狹小安裝空間和高精度應(yīng)用的理想選擇。

標準型的LIKgo光柵尺的突出特點是體積小，重量輕。讀數(shù)頭尺寸僅28 mm x 13 mm x 7.5 mm和重量僅10 g。這款光柵尺采用新開發(fā)的20 µm柵距的兩場掃描技術(shù)，測量步距可達78.125 nm的精度，并提供高質(zhì)量信號和優(yōu)異的抗污性能。

為滿足量身定制要求，LIKselect光柵尺結(jié)合NUMERIK JENA的Kit L系列優(yōu)點，可以靈活配置編碼器功能特性，滿足個性化的應(yīng)用需求。

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